仪器特点：
该系列气浮式大行程影像测量仪采用龙门式结构(桥架式)运行性能稳定，且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可保证电机在中、高速动动时的稳定性，和准确的定位功能，影像Z轴可自动对焦、配合美国Navitar自动变焦镜头，可实现自动变焦而不需倍率校正。
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影像测量仪系列型号 |
VMS5030(气浮型) |
VMS6040(气浮型) |
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工作台 |
金属台面尺寸(mm) |
760×640 |
730×530 |
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玻璃台面尺寸(mm) |
550×350 |
650×450 |
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运动行程(mm) |
500×300 |
600×400 |
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Z轴升降行程 |
200mm |
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工作距离 |
92mm |
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X、Y、Z数显解析度 |
1μm |
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X、Y坐标示值误差 |
≤(3+L/200)μm |
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影像系统 |
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测量系统 |
Mclns全自动测量软件 |
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